晶圓檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述：KLA-Tencor Puma 9100 晶圓檢測(cè)儀是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及研發(fā)領(lǐng)域。該設(shè)備具有高精度和可重復(fù)性的特點(diǎn)，能夠提供精確的微觀級(jí)測(cè)量能力。它配備了易于使用的裝載端口、機(jī)器人和光學(xué)檢查功能，以及多軸平臺(tái)，用于實(shí)現(xiàn)精確的微米級(jí)測(cè)量。Puma 9100 還集成了圖像傳感器和智能系統(tǒng)，以確保光學(xué)測(cè)量的準(zhǔn)確性，并且具備自動(dòng)化的樣品處理能力，可以進(jìn)行檢查區(qū)域的成像

產(chǎn)品型號(hào)：Puma 9100
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
更新日期：2024-09-23
訪(fǎng) 問(wèn) 量：331

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產(chǎn)品分類(lèi)

CLASSIFICATION

光學(xué)儀器及設(shè)備

光學(xué)顯微鏡光學(xué)計(jì)量?jī)x 晶圓檢測(cè)儀顆粒檢測(cè)儀橢圓偏光儀薄膜厚度測(cè)試儀電子顯微鏡

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詳細(xì)介紹

KLA-Tencor Puma 9100 晶圓檢測(cè)儀

是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及研發(fā)領(lǐng)域。該設(shè)備具有高精度和可重復(fù)性的特點(diǎn)，能夠提供精確的微觀級(jí)測(cè)量能力。它配備了易于使用的裝載端口、機(jī)器人和光學(xué)檢查功能，以及多軸平臺(tái)，用于實(shí)現(xiàn)精確的微米級(jí)測(cè)量。

此外，Puma 9100 還集成了圖像傳感器和智能系統(tǒng)，以確保光學(xué)測(cè)量的準(zhǔn)確性，并且具備自動(dòng)化的樣品處理能力，可以無(wú)限制地進(jìn)行檢查區(qū)域的成像。該設(shè)備還支持暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)，這使得它在識(shí)別電子制造過(guò)程中的潛在缺陷方面表現(xiàn)出色。

總體而言，KLA-Tencor Puma 9100 是一款多功能且高效的晶圓測(cè)試系統(tǒng)，適用于各種半導(dǎo)體制造和研究應(yīng)用，提供了高度精確的測(cè)量能力和靈活的部署方案。

Puma 9100概述

自動(dòng)化晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備

設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)、研發(fā)應(yīng)用，提供高精度和重復(fù)性

主要功能

高分辨率成像

無(wú)限制檢查區(qū)域

自動(dòng)化樣品處理能力

技術(shù)特點(diǎn)

多軸定位精確微米級(jí)測(cè)量

圖像傳感器和智能用于準(zhǔn)確的光學(xué)測(cè)量

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)先進(jìn)計(jì)量和晶圓測(cè)試設(shè)備

為識(shí)別電子制造過(guò)程中的潛在缺陷提供高度精確的測(cè)量能力

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晶圓檢測(cè)儀

Puma 9100概述

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